chiller 7℃~40℃ 2023/10/26 半导体专用温控设备chiller 28 主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制40°C以内加热方式采用压缩机热气加热浓 循环系统采用全密闭设计、循环泵采用磁力驱动泵 氨检测,安规检测,确保系统安全可靠 经过24小时连续运行拷机
产品介绍详细信息 型号 FLT-002 FLT-002W FLT-003 FLT-003W FLT-004 FLT-004W FLT-006 FLT-006W FLT-008 FLT-008W FLT-010 FLT-010W FLT-015 FLT-015W 温度范围 5℃~40℃ 控温精度 ±0.1℃ 流量控制 10~25L/min 5bar max 15~45L/min 6bar max 25~75L/min 6bar max 制冷量@10℃ 6kw 8kw 10kw 15 kw 20kw 25kw 40kw 内循环液容积 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L 膨胀罐容积 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L 制冷剂 R410A 载冷剂 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等 (DI温度需要控制10℃以上) 进出接口 G1/2 G1/2 G3/4 G3/4 G3/4 G1 G1 冷却水口 G1/2 G1/2 G3/4 G1 G1 G1 G1 1/8 冷却水流量@20℃ 1.5m³/h 2m³/h 2.5m³/h 4m³/h 4.5m³/h 5.6m³/h 9m³/h 电源380V 3.5kW 4kW 5.5kW 7kW 9.5kW 12kW 16kW 温度扩展 通过增加电加热器,扩展-25℃~80℃ 下一篇: chiller -25℃~40℃