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半导体直冷机chiller

半导体直冷机chiller

适用于半导体晶圆厂的刻蚀、化学气相沉积、物理气相沉积工艺制程,对ETCH、CVD、PVD制程设备的反应腔体进行精确控温

将制冷系统中的制冷剂直接输出蒸发进入目标控制元件(换热器)换热,从而使目标控制对象降温。具备换热能力相对于流体(气体)输送入换热器换热能力更高,这样特别适用于换热器换热面积小,但是换热量大的运用场所。也可以如气体捕集运用,将制冷剂直接通入捕集器蒸发,通过捕集器表面冷凝效应,迅速捕集空间中的气体

半导体直冷机chiller-冠亚恒温制冷 半导体直冷机chiller-冠亚恒温制冷 半导体直冷机chiller-冠亚恒温制冷 半导体直冷机chiller-冠亚恒温制冷 半导体直冷机chiller-冠亚恒温制冷

型号 ZLJ-41.0

ZLJ-41.0W

ZLJ-41.5

ZLJ-41.5W

ZLJ-42

ZLJ-42W

ZLJ-43

ZLJ-43W

ZLJ-44

ZLJ-44W

ZLJ-46

ZLJ-46W

ZLJ-48

ZLJ-48W

温度范围  -40℃~-15℃
控温精度 ±0.5℃ 控制蒸发温度
制冷@-35℃ 0.5kw 0.7kw 1kw 1.6kw 2.1kw 3.2kw 4kw
制冷剂 R404A 可选配R507C R448
高温降温 具备高温150度直接降温技术,满足目标在高温运行时迅速进行降温能力
电源 220V 50HZ 380V 50HZ 可定制220V
断路器 6A 6A 10A 6A 10A 16A 16A

 

型号 ZLJ-81.0

ZLJ-81.0W

ZLJ-81.5

ZLJ-81.5W

ZLJ-82

ZLJ-82W

ZLJ-83

ZLJ-83W

ZLJ-84

ZLJ-84W

ZLJ-86

ZLJ-86W

ZLJ-88

ZLJ-88W

温度范围  -80℃~-50℃
控温精度 ±0.5℃ 控制蒸发温度
制冷@-70℃ 0.37kw 0.5kw 0.75kw 1.1kw 1.5kw 2.6kw 3.1kw
制冷剂 R404A/R508B
高温降温 具备高温150度直接降温技术,满足目标在高温运行时迅速进行降温能力
电源 220V 50HZ 380V 50HZ 可定制220V
断路器 10A 16A 25A 16A 16A 25A 32A

 

型号 SLJ-3W SLJ-4W SLJ-6W SLJ-11W
温度范围 -150℃~-110℃
制冷@-120℃ 3KW 4KW 6KW 11KW
制冷@-135℃ 2.5KW 3.3KW 5KW 9KW
制冷剂 LNEYA -150混合制冷剂
电源 380V 50HZ
断路器 25A 32A 50A 80A
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