半导体薄膜沉积冷水机管理手册：从标准操作到智能维护的解决方案

2025年6月18日新闻中心行业新闻 340

　　在半导体薄膜沉积工艺中，冷水机的稳定运行有助于工艺温度控制。规范操作与及时处理故障是保障设备性能和生产效率的关键之一。

　　一、操作规范

　　1、开机前准备

　　开机前需对冷水机进行检查。先查看设备外观，确保外壳无明显变形或损伤，各管路接口连接牢固，无松动或泄漏迹象。再检查循环系统的膨胀罐液位，确保液位在规定刻度范围内，若液位不足，需补充相应的载冷剂。同时，确认冷却水系统的水源压力和流量符合设备要求。此外，还需检查电气系统，包括电源电压是否稳定，各开关和接线端子是否正常。

　　2、开机操作

　　接通电源后，先开启冷却水系统，让冷却水循环一段时间，以排除管路中的空气。然后按下设备的开机按钮，启动冷水机。此时，需注意观察设备的启动过程，包括压缩机、循环泵等部件的运行情况，是否有异常声响或振动。设备启动后，在操作界面上设定所需的温度和流量参数。设定完成后，确认设备是否按照设定参数正常运行，查看温度曲线显示和各项运行参数是否稳定。

　　3、运行监控

　　在冷水机运行过程中，需定期对设备进行监控。密切关注温度控制情况，确保实际温度与设定温度的偏差在允许范围内。同时，实时监测制冷系统的压力、流量、电流等参数。此外，还需注意设备的运行状态，如压缩机的运行声音、循环泵的工作情况等，发现异常及时处理。通过操作界面定期导出温度曲线和运行数据，以便进行趋势分析和故障预判。

　　4、关机操作

　　关机时，先在操作界面上逐步降低温度设定值，让设备逐渐停止制冷。然后关闭设备的主电源开关，切断电源。之后关闭冷却水系统，排净管路中的积水。

　　二、常见故障处理

　　1、温度控制异常

　　当温度控制出现异常时，先检查设定参数是否正确。若设定参数无误，再检查温度传感器是否正常，可通过测量传感器的电阻值，判断其是否损坏。若传感器正常，可能是制冷系统出现问题。对于制冷剂泄漏，可使用氦气检测仪检测管路连接处，找到泄漏点并进行维修，后重新充注制冷剂。若压缩机效率降低，需检查压缩机的运行状态。

　　2、流量异常

　　流量异常通常表现为循环液流量低于设定值或流量波动较大。先检查管路是否堵塞，可查看过滤器是否脏污，若脏污需及时清洗或更换。然后检查循环泵是否正常工作，测量泵的转速和电流，若转速不足或电流异常，可能是泵的轴承磨损或电机故障，需进行维修或更换。此外，还需检查管路是否有泄漏，导致流量不足，找到泄漏点并进行密封处理。

　　3、维护保养

　　为了确保冷水机的长期稳定运行，需定期进行维护保养，更换干燥过滤器和润滑油；检查传感器的精度和可靠性；对冷凝器进行清洗，提高换热效率。

　　严格遵守薄膜沉积冷水机的操作规范，及时处理常见故障，并做好设备的维护保养工作，可以提高设备的运行效率和可靠性，为半导体薄膜沉积工艺提供稳定的温度保障。