冠亚恒温
产品参数
Product Parameter
LNEYA 帕尔贴热电制冷器Chiller有五款款型号可选，为晶圆蚀刻工艺提供可靠和准确的温度控制
- 高可靠性和低使用成本；工业空间占用率小；极低的导热液填充量；
- 低能耗，没有压缩机和制冷剂的系统，同时只有在有负载时输出，大幅度降低能耗；
- 制热、直冷时，冷热部件没有与导热液直接接触；动态控温，准确控制过程温度，快速温度响应；
- 温度漂移保护功能使得刻蚀的轮廓更加稳定；改善Wafer-Wafer的稳定性；模块化部件使得维修更加方便；使用全氟液体。
| 型号 | TEC-1200 | TEC-2500W | TEC-4500W | |
| 温度范围 | -20℃~90℃ | |||
| 控温精度 | ±0.1℃ | |||
| 制冷能力 | 20℃ | 1200W | 2450W | 4500W |
| 10℃ | 900W | 1925W | 3500W | |
| 0℃ | 600W | 1400W | 2600W | |
| -10℃ | 350W | 875W | 1600W | |
| -20℃ | 80W | 350W | 700W | |
| 制热能力 | ＞3000W | ＞6000W | ＞12000W | |
| 泵类型 | 直流磁力泵 | |||
| 压力（bar） | ≤4 | |||
| 流量 | 15L/min at 2bar | |||
| 流体 | Galden HT135 | |||
| 冷却水温度 | DI＜20℃ | |||
| 冷却水流量 | ≥12L/min | ≥20L/min | ≥32L/min | |
| CDA开启温度 | ＜30℃ | |||
| CDA压力 | 0.5-0.8bar | |||
| CDA流量 | 2-3m³/h | |||
| CDA露点温度 | ≤30℃ | |||
| 标准电源 | 三相AC208V 50/60Hz | |||
| 型号 | TEC-800W |
| 温度范围 | 10℃～60℃ |
| 控温精度 | ±0.03℃（稳态温度） |
| 温控控制 | PLC控制器、彩色触摸屏，控制供液温度、外置温度 |
| 温度反馈 | 回液温度、外置温度 |
| 循环泵 | 2bar@12L/min；3bar@6L/min |
| 制冷量 | 0.8kW（冷却水条件：20℃，10L/min） |
| 膨胀罐循环容积 | 3L |
| 载冷剂 | 蒸馏水、乙二醇 |
| 介质进出接口尺寸 | RC3/8 |
| 冷却水接口 | RC3/8 |
| 通信方式 | RS485/232 |
| 尺寸（mm） | 431*223*400 |
| 外壳材质 | 冷轧板喷塑，RAL7035 |
| 安全保护 | 具有自我诊断功能；供液压力保护、漏电保护、热保护装置等多重安全保障功能。 |
| 电源 | 220V，50/60Hz，1500W max（16A插头） |
| 重量 | 25kg |
| 型号 | HTEC-032WL | HTEC-032WM | HTEC-014WS |
| 温度范围 | 0℃~50℃ | ||
| 控制方式 | 制冷/加热PMW自动切换 | ||
| 制冷/加热方式 | 帕尔贴制冷片(水冷) | ||
| 循环介质 | 纯水 | ||
| 制冷量 | 320W【注1】 | 140W【注1】 | |
| 控温精度 | ±0.03℃【注2】 | ||
| 温度均匀性 | ±0.04℃【注2】 | ||
| PCW温度 | 10~35℃（无结露） | ||
| PCW流量 | 5~10L/min | ||
| PCW压力 | 1~6bar | ||
| 水槽尺寸 | W300xD350xH400mm | W300xD350xH250mm | W216xD216xH250mm |
| 电源 | 100~240VAC,50/60Hz | ||
| 主要功能 | 设定值记忆，温度上下限偏差报警，输出切断报警 | ||
| 保护功能 | 具有自我诊断功能：高液位保护、超温保护、输入设定保护、过流保护等多种安全保障功能。 | ||
| 外形尺寸 | W350xD510xH550mm | W350xD510xH400mm | W266xD376xH400mm |
| 环境温湿度 | 10~35℃，35%~80%RH(无凝露) | ||
| 重量(空载) | 约36kg | 约28kg | 约19kg |
