冠亚恒温
快速温变控温卡盘Chuck
适用范围
探针台是半导体晶圆与芯片电学性能测试的核心装备，其温度稳定性直接决定测试精度与设备可靠性。
本方案为探针台提供一体化高精度温控解决方案，由精密液冷机（CHILLER）、温控卡盘（CHUCK）、干燥单元（DRYER）及电气控制柜组成完整闭环系统。通过主动热控技术（Active Thermal Control），实现对晶圆、探针台主体及关键部件的精准温度调控与高效散热，有效抑制测试过程中的温度漂移，保证测试数据一致性与设备长期稳定运行。
整套系统控温精度高、响应速度快、运行稳定可靠，可满足半导体晶圆检测、可靠性测试、高端探针台配套等严苛场景需求，全面提升测试效率与产品良率。
产品特点
Product Features
产品参数
Product Parameter
三温卡盘（CHUCK）：
1. 宽温域全覆盖，适配全场景测试。
突破常规卡盘温域狭窄的短板，实现低温、常温、高温三段式连续精准控温，覆盖主流芯片测试全温区需求，无需更换配件即可一键切换温区，省去繁琐调试流程，全面适配8/12英寸不同规格晶圆，可轻松应对常规晶圆电学测试、车规级芯片老化测试等多场景应用。
2. 超精密控温，杜绝温度漂移。
搭载高精度温度传感模块与闭环主动温控技术，控温精度可达行业顶尖水平，温场均匀性优异，确保晶圆表面全域温差极小，从根源上避免温度波动导致的测试数据失真、漂移问题，保障每一次电学测试结果精准、稳定、可重复。
3. 高效真空吸附，晶圆固定零损伤
采用优化式真空吸附结构，吸附力均匀柔和且稳定强劲，适配不同厚度、不同规格的晶圆与芯片，吸附过程无划痕、无变形、无位移，彻底杜绝测试过程中晶圆偏移影响检测精度。同时真空回路设计简洁，响应速度快；
| 卡盘类型 | GY-CP-8HCV | GY-CP-12HCV | GY-CP-SQ3434HCV | ||||
| 配套Chiller | GY-PCH-803 GY-PCH-803W |
GY-PCH-805 GY-PCH-805W |
GY-PCH-803 GY-PCH-803W |
GY-PCH-805 GY-PCH-805W |
GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W |
GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W |
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| 温度范围 | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -65℃-200℃ | -65℃-200℃ | |
| Chiller电源 | 380 VAC ± 10%，三相(可定制) | ||||||
| Chiller总功率 | 8.5kW | 12.5kW | 8.5kW | 12.5kW | 27.5kW | 27.5kW | |
| 配套控温模组 | DX-CHUCK-3 | ||||||
| 温度均匀性 | 土0.5℃ | ||||||
| Chuck加热能力 | 1.5KW@DC48V | 2.5KW@DC120V | 3KW@DC48V | ||||
| Chuck表面处理 | 镀镍/镀金 | ||||||
| 控温方式 | 内置多个温度传感器，多区控温，精确PID调节控温 | ||||||
| 如有其他需求，可非标定制 | |||||||
