面板系列Panel Chiller

适用范围

面板系列Chiller应⽤于刻蚀、蒸镀、镀膜⼯艺等，支持⼤流量⾼负载，确保极端⼯况下持续稳定运⾏；支持冷却⽔动态调节系统，可根据环境温度与设备热负荷，实时调节⽔温。
采用变频智能节能控制，减少⽆效能耗；全⾃动补液与⽔质管理，缺液时⾃动补液；符合三通道⼯艺设计要求，确保信号/流体的独⽴传输与准确控制。

全国服务热线 400-100-3163

产品特点

Product Features

特点一温度范围广、控温精准:-20°C~120°C，控温精度最高达土0.01°C;

特点二氟化液损耗量少:闭式循环系统设计，减少氟化液高温挥发。

特点三高效节能:采用全变频技术，结合压缩机余热回收，降低能耗20%;

特点四设备体积小:多通道整合，更高效的空间利用;

产品参数

Product Parameter

单通道/双通道/三通道系列
高端面板的精密温控器，专为OLED蒸镀、IBE/ICP等工艺设计。冷通道用于精确控制BOTTOM温度，热通道用于TOP和WALL温度控制;高稳定性和高精度设计，保障工艺关键CD尺寸参数。

型号		FLTZ-B-P001W	FLTZ-B-D001W		FLTZ-B-T001W
通道类型		1-loop independent	2-loop independent		3-loop independent
性能参数	通道型号	CH1	CH1	CH2	CH1	CH2	CH3
	温度范围	25~30℃	-20~90℃	常温~90℃	10~90℃	10~90℃	10~90℃
	温度控制精度	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
	冷却能力	21kW@25℃	35kW@5℃	30kW@PCW+10℃	7kW@10℃	3kW@10℃	8kW@10℃
	加热能力	2kW	4kW	38kW	2kW	4kW	6kW
	循环液类型/电导率	DI WATER @10~18MΩ·cm	乙二醇水溶液	乙二醇水溶液	氟化液HT-170	氟化液HT-170	氟化液HT-170
	循环液流量压力	80LPM@0.5MPa	25LPM@0.4MPa	25LPM@0.4MPa	35LPM@0.5MPa	35LPM@0.5MPa	35LPM@0.5MPa
	循环液接口	Rc1	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4
	PCW温度	18~22℃	18~22℃	18~22℃	18~22℃	18~22℃	18~22℃
	PCW流量	3.6m³/h	6m³/h	5.5m³/h	3.5m³/h
	PCW压力	2~6bar	2~6bar	2~6bar	2~6bar	2~6bar	2~6bar
	PCW接口	Rc1	Rc1 1/4		Rc1
安全装置	过载保护功能	压缩机、循环泵、加热器等热过载保护
	电源保护功能	电源过电流、过欠压、缺相等保护
	液位保护	低流量、低液位等保护
	安全联锁装置	EMO+INTERLOCK
	上锁挂牌装置	LOTO装置
	漏液检测装置	设备内外部LEAK SENSON检测
通讯类型	支持多种通讯协议	支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS等
安装环境	环境温度	10~40℃
安装环境	环境湿度	30~70%RH
外壳材质		冷轧板喷塑RAL7035
电源		220VAC±10%，三相(可定制)
外形尺寸cm		60105135	78100190		85100180

四通道系列
专为大尺寸面板设计，用于RGB-OLED面板制造中的真空蒸镀与离子束刻蚀工艺。冷却通道可以满足对BOTTOM双路输出，通道间独立输出，互不干扰;缩减设备体积，节约占地空间。

型号		FLTZ-B-F001W
通道类型		4-loop independent
性能参数	通道型号	CH1	CH2	CH3	CH4
	温度范围	-20~90℃	-20~90℃	30~120℃	30~120℃
	温度控制精度	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃	±0.1℃
	冷却能力	12kW@10℃	12kW@10℃	5kW@30℃	5kW@30℃
	加热能力	6kW	6kW	20kW	40kW
	循环液类型/电导率	氟化液HT-135	氟化液HT-135	氟化液HT-170	氟化液HT-170
	循环液流量压力	45LPM@0.5MPa	45LPM@0.5MPa	45LPM@0.5MPa	50LPM@0.5MPa
	循环液接口	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4
	PCW温度	18~22℃	18~22℃	18~22℃	18~22℃
	PCW流量	1.5m³/h	1.5m³/h	2.3m³/h	3.5m³/h
	PCW压力	2~6bar	2~6bar	2~6bar	2~6bar
	PCW接口	Rc1 1/2
安全装置	过载保护功能	压缩机、循环泵、加热器等热过载保护
	电源保护功能	电源过电流、过欠压、缺相等保护
	液位保护	低流量、低液位等保护
	安全联锁装置	EMO+INTERLOCK
	上锁挂牌装置	LOTO装置
	漏液检测装置	设备内外部LEAK SENSON检测
通讯类型	支持多种通讯协议	支持MODBUS RTU/TCP协议或ETHERcAT、LONWORKS等
安装环境	环境温度	10~40℃
安装环境	环境湿度	30~70%RH
外壳材质		冷轧板喷塑RAL7035
电源		220VAC±10%，三相(可定制)
外形尺寸cm		120160185