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FLTZ变频多通道Chiller

FLTZ变频多通道Chiller

适用范围

多通道独立控温，可以具备单独的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等，采用独立的两套系统，根据所需的温度范围选择采用蒸汽压缩制冷，或者采用ETCU无压缩机换热系统，系统可通用膨胀罐、冷凝器、冷却水系统等，可以有效减少设备尺寸，减少操作步骤。

全国服务热线 400-100-3163

产品特点

Product Features

特点一
特点一控温范围：-45℃~+90℃，控温精度：±0.1℃（可定制±0.01℃）
特点二
特点二采用先进的变频技术，实现产品节能提效
特点三
特点三先进的密封技术，减少循环液的泄漏及挥发
特点四
特点四符合SEMI标准，可根据客户需求定制产品

产品参数

Product Parameter

型号 FLTZ-D-202W FLTZ-D-203W FLTZ-D-B003B203W
通道系数 CH1 CH2 CH1 CH2 CH1 CH2
介质温度范围  -20~＋90℃  -20~＋90℃ -20~＋90℃  -20~＋90℃  -20~＋90℃  -20~＋90℃
控制系统 PLC控制器 PLC控制器 PLC控制器
控制模式 本体出液口温控控制模式
负载温度控制模式（通信）
出口温度控制精度 ±0.1℃
冷却能力 1kW@-20℃ 1kW@-20℃ 2.5kW@-15℃ 2.5kW@-15℃ 4kW@-15℃ 20kW@冷却水温度+10℃
4kW@10℃ 4kW@10℃ 6kW@10℃ 6kW@10℃ 10kW@10℃
加热能力 1.6kW 1.6kW 5.5kW 5.5kW 2kW 5.5kW
介质类型、电阻率 DI WATER@10~18MΩ·cm 氟化液 氟化液
介质流量压力 20LPM@5bar 20LPM@5bar 20LPM@3bar 20LPM@3bar 20LPM@5bar 20LPM@5bar
介质接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4
冷却水 20℃@2.5m³/h@2~4bar 20℃@3.5m³/h@2~4bar 20℃@2.7m³/h@2~4bar 20℃@3.5m³/h@2~4bar
冷却水接口 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4
通道温度控制 PID控制调节，每路温度独立控制
每组流量控制 15~20LPM变频调节功能
流量显示精度 ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM
水箱容积 15L 15L 15L 15L 15L 15L
操作面板 7寸彩色触摸屏
安全防护 具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护
安全联锁装置 EMO+INTERLOCK
上锁挂牌装置 LOTO
漏液检测装置 设备内外部LEAK SENSON
通讯类型 支持MODBUS RTU/TCP协议、ETHERcAT、LONWORKS等。
安装环境 No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体
30-70%(No condensation)
电源 220 VAC ± 10%，三相(可定制) 380 VAC ± 10%，三相(可定制) 220 VAC ± 10%，三相(可定制)
总用电功率 11kW(49A) 18kW（48A) 14.5kW（55A)
外壳材质 冷轧板喷塑RAL7035 冷轧板喷塑RAL7035 冷轧板喷塑RAL7035
外形尺寸cm 60*85*140 75*110*170 46*90*187
非标定制 配离子交换树脂过滤器
带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能
可定制双通道液位平衡		 带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能
可定制设计满足semi2/semiF47认证
可定制双通道液位平衡		 带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能
可定制设计满足semi2/semiF47认证
可定制双通道液位平衡

 

型号 FLTZ-T-B203B205A1W FLTZ-T-B440A2A2W FLTZ-T-B210A1C1W
通道系数 CH1 CH2 CH3 CH1 CH2 CH3 CH1 CH2 CH3
介质温度范围  -10~＋60℃ 30~＋80℃  -10~＋80℃  -40℃~+50℃ 30℃~+120℃ 30℃~+50℃  -25℃~+90℃ 30℃~+90℃ 25℃~+160℃
控制系统 PLC控制器 PLC控制器 PLC控制器
控制模式 本体出液口温控控制模式
负载温度控制模式（通信）
出口温度控制精度 ±0.1℃
冷却能力 4kW@-10℃ 6kW@冷却水温度+10℃ 3kW@-10℃ 20kW@-30℃ 20kW@50℃ 25kW@35℃ 10kW@-10℃ 10kW@30℃ 4kW@100℃
16kW@20℃ 10kW@20℃
加热能力 5.5kW 5.5kW 4kW 5.5kW 15kW 5.5kW 2kW 7.5kW 7.5kW
介质类型、电阻率 氟化液 氟化液 氟化液
介质流量压力 17LPM@7bar 17LPM@7bar 17LPM@7bar 30LPM@11.5bar 30LPM@11.5bar 23LPM@10bar 30LPM@6.5bar 30LPM@6.5bar 30LPM@6.5bar
介质接口 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4
冷却水 20℃@2.7m³/h@2~4bar 20℃@2.5m³/h@2~4bar 20℃@1.6m³/h@2~4bar 20℃@20m³/h@2~4bar 20℃@7m³/h@2~4bar 20℃@5m³/h@2~4bar
冷却水接口 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 1/4 Rc1 1/4 Rc1 1/4 Rc1 Rc1 Rc1
通道温度控制 PID控制调节，每路温度独立控制
每组流量控制 15~20LPM变频调节功能
流量显示精度 ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM ±0.5 LPM
水箱容积 40L 40L 40L 25L 25L 25L 25L 25L 25L
操作面板 7寸彩色触摸屏 10寸彩色触摸屏
安全防护 具有自我诊断功能；相序断相保护器、电源过电流、过欠压保护、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护、进出液口压力监控及断流保护
安全联锁装置 EMO+INTERLOCK
上锁挂牌装置 LOTO
漏液检测装置 设备内外部LEAK SENSON
通讯类型 支持MODBUS RTU/TCP协议、ETHERcAT、LONWORKS等。
安装环境 No corrosive or flammable gas无腐蚀性或易燃气体
30-70%(No condensation)
电源 220 VAC ± 10%，三相(可定制) 380 VAC ± 10%，三相(可定制) 380 VAC ± 10%，三相(可定制)
总用电功率 31kW（113A) 65kW（136A) 34kW（135A)
外壳材质 冷轧板喷塑RAL7035 冷轧板喷塑RAL7035 冷轧板喷塑RAL7035
外形尺寸cm 70*100*185 115*150*210 105*135*195
非标定制 带自动吹扫功能、自动补液、自动排液功能，可定制设计满足semi2/semiF47认证

行业应用

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