冠亚恒温
产品中心
Product Centre
氟化液回收装置
产品简介
氟化液回收系统采用一体式风冷设计。采用品牌的压缩机、冷凝器、蒸发器等部件，形成制冷系统提供冷源，蒸发器与客户端氟化液循环系统进行换热，对氟化液进行冷凝后回收。
FLTZH高温系列
产品简介
应用：
CHILLER高温系列主要应用与薄膜沉积领域，适用于CVD、PECVD、MOCVD等需要带走高温热量的工艺制程中，满足半导体高温测试需求。
核心技术与优势：
1、高温范围宽：出口温度最高可达300℃。
2、控温精准：采用智能算法，实现系统动态温度快速响应、控制精度±0.1℃（可选配±0.01℃），具有良好的温度跟随性。
3、节约能耗:采用变频自适应调节、软启动等技术，实现系统的高效节能。
4、氟化液损耗小：特殊的密封和循环设计，降低高温下导致的氟化液挥发损耗。
5、洁净度高：内部管道酸洗钝化洁净度高，不含杂质离子，对工艺制程不会产生任何污染。
FLTZ-U超纯水温控系列
产品简介
Chiller是由紧密耦合的制冷循环与介质循环两大核心系统构成，通过两个循环通道间的介质高效换热，实现对目标设备的精准、稳定温度控制。
FLTRZ变频环保系列
产品简介
高效节能:变频压缩机组通过内置变频装置随时根据用户冷热负荷需求改变直流压缩机的运行转速，从而避免压缩机与电加热满负荷对抗，保持机组稳定的工作状态。
快速制冷:变频机组采用先进的变频技术，精确控制压缩和风机运行转速，通过电子膨胀阀智能调节，快速制冷。
超低噪音:变频机组采用变频涡旋或双转子压缩机，大大降低回旋不平衡度，使机组的振动非常小，约为常规压缩。机的1/2，结合多重降噪措施，极度安静。
环境适应性高:变频机组采用低频启动，启动电流小，对电网冲击小。对电压的适应性较强，可宽电压范围下启动。
寿命长:变频机组不会频繁启停，有效降低机组启停时的损耗，延长机组寿命。
负压型控温机组
产品简介
负压型控温设备是通过制造循环管道内的负压环境，实现管道内的流体压力在低于外界大气压的条件下循环，并且同时实现精准控温功能。
原理：通过负压发生器驱动导热介质（水/油等）循环，避免泄露风险，适用于各种类型的板卡冷却。
帕尔贴Chiller
产品简介
冠亚恒温LNEYA 帕尔贴热电制冷器CHILLER温度范围从-20到90℃，专为半导体行业度身定制；
基于经过实践验证的帕尔贴热传导原理，帕尔贴温度控制系统能够为等离子刻蚀应用提供可重复性的温度控制；
对于静电卡盘(ESC)动态的温度控制，使得其能够应用于所有类型的刻蚀工艺；
快速且准确的温度控制，能够满足任何严苛的工艺要求；
节能提效，节省空间，同时还能够稳定的控制温度。
面板系列Panel Chiller
产品简介
面板系列Chiller应⽤于刻蚀、蒸镀、镀膜⼯艺等，支持⼤流量⾼负载，确保极端⼯况下持续稳定运⾏；支持冷却⽔动态调节系统，可根据环境温度与设备热负荷，实时调节⽔温。
采用变频智能节能控制，减少⽆效能耗；全⾃动补液与⽔质管理，缺液时⾃动补液；符合三通道⼯艺设计要求，确保信号/流体的独⽴传输与准确控制。
FLTZ变频多通道Chiller
产品简介
多通道独立控温，可以具备单独的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等，采用独立的两套系统，根据所需的温度范围选择采用蒸汽压缩制冷，或者采用ETCU无压缩机换热系统，系统可通用膨胀罐、冷凝器、冷却水系统等，可以有效减少设备尺寸，减少操作步骤。
单通道系列 Single Channel Chiller
产品简介
CHILLER单通道变频设备集成单级蒸汽压缩制冷系统与循环介质系统，进行制冷加热，并且同时实现精准控温功能，为用户提供相温度的冷却介质，适用于刻蚀、光刻机、涂胶显影设备等设备领域制冷加热控温。