产品中心
Product Centre

双通道系列 Dual Channel Chiller
产品简介
FLTZ系列双通道Chillers主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制,公司在系统中应用多种算法(PID、前馈PID、无模型自建树算法),显著提升系统的响应速度、控制精度和稳定性。
每个通道具备单独的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等,采用独立的两套系统,根据所需的温度范围选择采用蒸汽压缩制冷,或者采用ETCU无压缩机换热系统,系统可通用膨胀罐、冷凝器、冷却水系统等,可以有效减少设备尺寸,减少操作步骤。
加载情况下控温精度可达士0.1℃,可在-45℃~+90℃之间任意切换,具有良好的温度跟随性。

HLTZ系列氢气高效换热制冷机组
产品简介
氢气经过内高压换热器,制冷系统通过制冷剂直接与氢气换热,实现高效换热控温;设备本体采用正压防爆系统,正压系统内置有恒温器,确保系统环境维持在常温。相对于传统防冻液或其他流体与氢气换热,本设备采用介质为制冷系统制冷剂(相变热),能效更高;内置有可再生干燥机,确保正压系统内部干燥,没有冷凝水;可与耐高压微通道换热器或壳管换热器(99Mpa)组合成换热控温机组。设备采用变频控制,技术参数表为50hz工况下的制冷量,当变频调节到70hz时,制冷量同样会成比例增加。

ZLTZ高效换热控温机组
产品简介
适合应⽤于微通道反应器、板式换热器、冷板、热沉板、管式反应器等换热⾯积⼩、制冷量⼤、温差⼩的控温需求场所;设备可⾃动回收导热介质;ZLTZ控温机组与微通道反应器组合成⾼放热量控温运⽤,同流量⼯况下相对于导热油换热控温传热效率5倍以上,同时进出⼝温差⼩,温度场均匀性⾼,特别适合剧烈放热反应的应⽤;ZLTZ控温机组与冷板、热沉板组合⾼吸热、⾼均匀性控温运⽤;ZLTZ控温机组与ESC卡盘、真空卡盘等组合,实现-65℃~200℃温控范围,同时可以实现⼀台ZLTZ控温机组带多个ESC卡盘控制不同的温度。

LT定频系列 冷冻机
产品简介
冠亚恒温低温冷冻机温度范围从-150℃到-5℃,采用二次过冷技术,制冷迅速。产品可靠性强,性能优异。

LTZ变频系列低温冷冻机
产品简介
LTZ系列低温冷冻机采用变频技术,实现产品⾼效节能,控温范围:-100℃~30℃,控温精度:±0.3℃。变频压缩机组通过内置变频装置随时根据⽤⼾冷热负荷需求改变直流压缩机的运⾏转速,从⽽避免压缩机与电加热满负荷对抗,保持机组稳定的⼯作状态,达到节能效果。

单通道系列 Single Channel Chiller
产品简介
FLTZ系列单通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制,公司在系统中应用多种算法(PID、前馈PID、无模型自建树算法),实现系统快速响应、较高的控制精度。
Chillers的排吸气温度(压力)、冷凝温度、冷却水温度(压力)、进出液体(气体)温度(压力)、用电功率、各部件电流、电压、水箱液位等重要信息均通过传感器接入控制系统进行全面管理监控记录。
加载情况下控温精度高,可在-100℃~+90℃之间任意切换,具有良好的温度跟随性;先进的低温制冷技术,支持-100℃~ -80℃超低温控温。

三通道系列 Triple Channel Chiller
产品简介
FLTZ系列三通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制,系统支持三个通道独立控温,每个通道有独立的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等。
公司在系统中应用多种算法(PID、前馈PID、无模型自建树算法),实现系统快速响应、较高的控制精度,加载情况下控温精度可达±0.1C,可在-20℃~+100℃之间任意切换,具有良好的温度跟随性。

LQ系列气体冷却装置
产品简介
应⽤于将⽓体(⽆腐蚀)降温使⽤:如⼲燥压缩空⽓、氮⽓、氩⽓等常温⽓体通⼊到LQ系列设备内部,出来的⽓体即可达到⽬标低温温度,供给需求测试的元件或换热器中。

动力电池温度循环箱
产品简介
动力电池温度循环箱用于动力电池样品的高低温测试装置,目前主要应用于新能源电池行业,可以直接为电池电芯或模组、PACK在试验箱内完成高低温充放电,或者高低温存储等功能,在测试电池失效时的条件下增加了防爆泄压及消防失火装置。

KRY系列
产品简介
测试的物件连接到一个测试平台适配器上,部件内部通过乙二醇水溶液来冷却和加热测试。测试部件需要经历一个特定的温度变化曲线,并且记录温度的变化。温度变化的范围通常从-40到100度。(可扩展到150度)进行耐受性测试时,通常会循环进行。