冠亚恒温
产品中心
Product Centre
芯片老化测试箱
产品简介
芯⽚⽼化测试箱是⼀款专⻔⽤于模拟芯⽚在极端环境下⼯作状态的设备，通过准确控制温度、湿度等环境参数，模拟芯⽚在实际使⽤中可能遇到的⾼温、⾼湿、⾼应⼒等极端条件，加速芯⽚的⽼化过程，通过这种⽅式，可以在短时间内筛选出早期失效的芯⽚，优化设计⽅案，提升产品良率，确保芯⽚在⻓期使⽤中的稳定性和可靠性。
接触式高低温测试机
产品简介
设备应⽤温度范围-75~+200℃，⽀持从极低温到⾼温的快速升温和降温，zui快速率可达到75℃/min，能够准确的控制温度，误差通常在±0.2℃以内。
应⽤于芯⽚研发：在芯⽚设计阶段，验证其在不同温度下的性能表现；
质量控制：在芯⽚⽣产过程中，进⾏可靠性测试，确保产品符合标准；
失效分析：通过⾼低温测试，分析芯⽚在极端温度下的实效模式。
精密恒温恒湿机组
产品简介
冠亚恒温LNEYA精密恒温恒湿机组是⼀种能准确控制环境温、湿度的空⽓调节设备，提供两款设备型号，常规水冷款和迷你型风冷款。
半导体、液晶和太阳能电池板等设备的⽣产设施中使⽤的设备、⽣产流程、检验流程及空间，需要⾼度精确和稳定的空⽓处理。为了满⾜这些需求，全区域空⽓处理将需要极⾼的相关费⽤和维护成本。
机组采⽤⾼品质洁净型⻛机、洁净型箱体、⼯艺，避免⼆次环境污染；可适配部分新⻛功能，更加⽅便满⾜特殊使⽤环境的暖通要求，⼜能满⾜⼯艺要求；常年⼯作，可靠性更⾼。
负压型控温机组
产品简介
负压型控温系统通过负压环境下的流体循环实现准确温度控制，原理：通过负压发⽣器驱动导热介质（⽔/油）循环，避免泄漏⻛险，适⽤于各种类型板卡冷却。
核⼼技术与优势
防泄漏设计：系统运⾏时管路处于负压状态，即使管道破裂也不会泄漏⾼温介质，安全性⾼。
节能提效：全密闭循环，闭式循环，减少热能损耗。
准确控温：采⽤PID算法或PLC控制，实现温度波动≤±0.3℃，适⽤于精密制造场景。
多场景适配：⽀持纯⽔、氟化液、⼄⼆醇⽔溶液等不同介质，控温范围从常温到80度
帕尔贴Chiller
产品简介
冠亚恒温LNEYA 帕尔贴热电制冷器CHILLER温度范围从-20到90℃，专为半导体行业度身定制；
基于经过实践验证的帕尔贴热传导原理，帕尔贴温度控制系统能够为等离子刻蚀应用提供可重复性的温度控制；
对于静电卡盘(ESC)动态的温度控制，使得其能够应用于所有类型的刻蚀工艺；
快速且准确的温度控制，能够满足任何严苛的工艺要求；
节能提效，节省空间，同时还能够稳定的控制温度。
面板系列Panel Chiller
产品简介
面板系列Chiller应⽤于刻蚀、蒸镀、镀膜⼯艺等，支持⼤流量⾼负载，确保极端⼯况下持续稳定运⾏；支持冷却⽔动态调节系统，可根据环境温度与设备热负荷，实时调节⽔温。
采用变频智能节能控制，减少⽆效能耗；全⾃动补液与⽔质管理，缺液时⾃动补液；符合三通道⼯艺设计要求，确保信号/流体的独⽴传输与准确控制。
双通道系列 Dual Channel Chiller
产品简介
FLTZ系列双通道Chillers主要用于半导体制程中对反应腔室温度的准确控制，公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），显著提升系统的响应速度、控制精度和稳定性。
每个通道具备单独的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等，采用独立的两套系统，根据所需的温度范围选择采用蒸汽压缩制冷，或者采用ETCU无压缩机换热系统，系统可通用膨胀罐、冷凝器、冷却水系统等，可以有效减少设备尺寸，减少操作步骤。
加载情况下控温精度可达士0.1℃，可在-45℃~+90℃之间任意切换，具有良好的温度跟随性。
HLTZ系列氢气高效换热制冷机组
产品简介
氢气经过内高压换热器，制冷系统通过制冷剂直接与氢气换热，实现高效率的换热控温；设备本体采用正压防爆系统，正压系统内置有恒温器，确保系统环境维持在常温。相对于传统防冻液或其他流体与氢气换热，本设备采用介质为制冷系统制冷剂（相变热），能效更高；内置有可再生干燥机，确保正压系统内部干燥，没有冷凝水；可与耐高压微通道换热器或壳管换热器（99Mpa)组合成换热控温机组。设备采用变频控制，技术参数表为50hz工况下的制冷量，当变频调节到70hz时，制冷量同样会成比例增加。
ZLTZ高效换热控温机组
产品简介
适合应⽤于微通道反应器、板式换热器、冷板、热沉板、管式反应器等换热⾯积⼩、制冷量⼤、温差⼩的控温需求场所；设备可⾃动回收导热介质；ZLTZ控温机组与微通道反应器组合成⾼放热量控温运⽤，同流量⼯况下相对于导热油换热控温传热效率5倍以上，同时进出⼝温差⼩，温度场均匀性⾼，特别适合剧烈放热反应的应⽤；ZLTZ控温机组与冷板、热沉板组合⾼吸热、⾼均匀性控温运⽤；ZLTZ控温机组与ESC卡盘、真空卡盘等组合，实现-65℃~200℃温控范围，同时可以实现⼀台ZLTZ控温机组带多个ESC卡盘控制不同的温度。
LT定频系列 冷冻机
产品简介
冠亚恒温低温冷冻机温度范围从-150℃到-5℃，采用二次过冷技术，制冷迅速。产品可靠性强，性能优异。