冠亚恒温
产品中心
Product Centre
低压蒸汽加热循环器
产品简介
该系列产品在化工、制药等领域都有广泛应用，主要用于温度控制，保障反应效率与产品质量。
冷冻拆屏机
产品简介
冷冻脱胶拆屏核心是用-80°C~-150°C超低温使OCA/UV胶脆性化、粘结失效，实现盖板/玻璃与LCD/OLED无损分离，较热风法更保护显示层
氟化液回收装置
产品简介
氟化液回收系统采用一体式风冷设计。采用品牌的压缩机、冷凝器、蒸发器等部件，形成制冷系统提供冷源，蒸发器与客户端氟化液循环系统进行换热，对氟化液进行冷凝后回收。
FLS常温高精度系列
产品简介
应用：
原理：CHILLER 高精度系列设备集成蒸汽压缩制冷系统与循环介质系统，进行制冷加热，可实现高精度控温，适用于光刻机、涂胶显影设备等领域制冷加热控温。
核心技术与优势：
1.高精度控温：
采用PID算法或PLC控制，实现温度波动≤±0.005℃，适用于高精密制造场景。
2.多场景适配：
支持氟化液、乙二醇水溶液、DI水等不同介质使用。
FLTZH高温系列
产品简介
应用：
CHILLER高温系列主要应用与薄膜沉积领域，适用于CVD、PECVD、MOCVD等需要带走高温热量的工艺制程中，满足半导体高温测试需求。
核心技术与优势：
1、高温范围宽：出口温度最高可达300℃。
2、控温精准：采用智能算法，实现系统动态温度快速响应、控制精度±0.1℃（可选配±0.01℃），具有良好的温度跟随性。
3、节约能耗:采用变频自适应调节、软启动等技术，实现系统的有效jie 能。
4、氟化液损耗小：特殊的密封和循环设计，降低高温下导致的氟化液挥发损耗。
5、洁净度高：内部管道酸洗钝化洁净度高，不含杂质离子，对工艺制程不会产生任何污染。
FLTZ-U超纯水温控系列
产品简介
Chiller是由紧密耦合的制冷循环与介质循环两大核心系统构成，通过两个循环通道间的介质有效换热，实现对目标设备的精准、稳定温度控制。
FLTRZ二氧化碳系列
产品简介
FLTRZ系列Chiller采用的CO₂（二氧化碳，R744）制冷剂，是契合全球“双碳”战略与huan 保趋势的有效制冷设备，以天然CO₂为制冷介质，为半导体行业提供绿色可靠的制冷解决方案。
AET高速光模块热流仪
产品简介
运用于半导体测试平台的高低温测试。电子设备高温低温恒温测试冷热源。
非接触测试:避免机械接触对模块的压力，更适合某些精密或特殊封装模块;热场均匀:流动空气包裹模块，温度梯度小;无磨损风险:没有接触式TEC的反复压接磨损问题;设备小5，方便移动，插电即用;可与测试机进行高度交互，可控工件Tc和Tj(需给入芯片温度信号)
芯片老化测试箱
产品简介
芯⽚⽼化测试箱是⼀款专⻔⽤于模拟芯⽚在极端环境下⼯作状态的设备，通过准确控制温度、湿度等环境参数，模拟芯⽚在实际使⽤中可能遇到的⾼温、⾼湿、⾼应⼒等极端条件，加速芯⽚的⽼化过程，通过这种⽅式，可以在短时间内筛选出早期失效的芯⽚，优化设计⽅案，提升产品良率，确保芯⽚在⻓期使⽤中的稳定性和可靠性。
接触式高低温测试机
产品简介
设备应⽤温度范围-75~+200℃，⽀持从极低温到⾼温的快速升温和降温，zui快速率可达到75℃/min，能够准确的控制温度，误差通常在±0.2℃以内。
应⽤于芯⽚研发：在芯⽚设计阶段，验证其在不同温度下的性能表现；
质量控制：在芯⽚⽣产过程中，进⾏可靠性测试，确保产品符合标准；
失效分析：通过⾼低温测试，分析芯⽚在极端温度下的实效模式。