冠亚小编详解：无压缩机换热型系列的控温原理

2026年4月17日行业新闻无压缩机换热型系列70

冠亚小编为您介绍冠亚恒温研发的 CHILLER 无压缩机换热型系列，该系列设备专为光刻机、薄膜沉积设备、离子注入机等领域的加热冷却设计，采用无压缩机结构，通过换热器实现工质与载冷介质的换热，为jing密制造场景提供稳定的温控服务，以下为您详解其控温原理。

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控温原理上，设备通过换热器将厂务水与载冷介质进行换热，循环泵驱动载冷介质循环，同时实现jing准控温功能。设备无压缩机结构，加热冷却设计，结构简单，应用换热器即可实现连续升降温，温度范围 5℃~90℃，可实现快速加热冷却。控温系统采用 PID 无模型自建树算法或 PLC 控制，实现温度波动≤±0.05℃，适配jing密制造场景的温控需求。

换热流程中，载冷介质在循环泵的驱动下，进入换热器，与厂务水进行换热，厂务水带走载冷介质的热量或向载冷介质传递热量，实现载冷介质的降温或升温。换热后的载冷介质回到设备，再次通过循环泵输送至目标设备，与工艺设备进行换热，吸收或释放热量，再回到设备，完成循环过程。设备的冷却水与载冷介质独立循环，互不干扰，可根据工艺需求调节冷却水温度与流量，控制载冷介质的温度，实现动态控温。

控制模式上，设备支持循环液出口温度控制与工件负载温度控制（选配），可根据工艺需求选择控制模式，实现目标设备的温度jing准控制。工艺工程温度控制可根据自创无模型自建树算法和串级算法结合，控制工件目标温度，实现动态控温，减少温度偏差对工艺的影响。设备支持纯水、乙二醇、导热油等不同介质使用，可根据工艺需求选择适配介质，适配多种工艺场景的温控需求。

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设备配置方面，冷却能力覆盖 5kW~300kW，加热功率（选配）覆盖 1kW~60kW，可根据不同工艺的冷热负荷需求选择适配型号。设备的载冷剂额定流量、冷却水额定流量随型号调整，适配不同工艺的流量需求。操作面板采用彩色触摸屏，可显示设定温度和测量温度，记录温度曲线，数据导出采用 Excel 格式，便于工艺追溯。安全防护方面，具备循环泵过载保护、介质出口高压保护、过欠压、电流监控、低液位保护、热保护装置等多种安全保护功能，保障设备运行安全。