半导体Chiller设备稳定运行守则与典型故障应对策略

2025年7月25日新闻中心行业新闻实验室专用冷冻机水冷式恒温机880

　　半导体Chiller设备作为温度控制的核心装置之一，其稳定运行直接影响半导体制造工艺的稳定性与产品良率，科学的维护体系与规范的故障排查流程，能够降低设备停机概率，延长使用，确保温控精度始终满足工艺需求。

　　一、日常维护：预防性保养的要点

　　半导体Chiller设备的日常维护以预防性能下降为目标，通过定期检查与基础保养，及时发现潜在问题。维护工作需覆盖制冷系统、循环系统、控制系统三大核心模块，形成标准化流程。

　　制冷系统的维护要点在于确保制冷剂循环顺畅。需定期检查压缩机进出口压力与温度，确认压力值在正常范围，避免因压力异常导致的制冷效率下降；定期清理冷凝器表面的灰尘与杂质，无论是风冷式的散热鳍片还是水冷式的换热器，积污都会导致散热的能力降低，进而引发冷凝温度升高。同时，需观察制冷剂液位，若出现明显下降需排查是否存在泄漏，必要时进行补加。对于采用电子膨胀阀的设备，需定期校验阀门开度与温度反馈的匹配度，确保流量调节准确。循环系统的维护聚焦于介质纯净度与循环顺畅性。需检查循环液的液位与状态，若发现液位下降应及时补充同种介质，避免因液位不足导致泵体空转。

　　二、定期对关键部件的管理

　　除日常维护外，需根据设备运行时长与使用强度，进行定期维护，关注易损耗部件的更换与核心系统的性能校准，通常以每半年或一年为周期。压缩机作为制冷系统的核心设备之一，维护需检查运行电流、排气温度等参数，与出厂标准对比判断性能衰减程度；若设备使用超过规定年限，需检测压缩机内部轴承磨损情况，必要时进行更换。对于复叠式制冷设备，需分别对高低温级压缩机进行单独评估，确保协同运行时的匹配性。控制系统的校准需借助仪器。使用标准信号发生器对温度控制器进行全量程校准，确保在不同温度点的调节精度；对PID算法的参数进行优化，根据设备当前性能重新设定比例、积分、微分系数，提升动态调节能力。对于多通道设备，需逐一校准各通道的控制精度，确保通道间无干扰。

　　三、常见故障排查：系统化分析与解决

　　半导体Chiller设备的故障表现多样，常见故障主要集中在制冷能力不足、温度波动过大、循环系统异常三类。制冷能力不足通常表现为实际温度无法达到设定值或降温速度缓慢。首先检查压缩机运行状态，若压缩机未启动，可能是电源故障或控制信号中断；若压缩机运行但制冷效果差，需检测吸气压力与排气压力，压力过低可能是制冷剂泄漏，过高则可能是冷凝器散热不佳。温度波动过大的核心排查方向是控制系统与循环系统。若温度显示波动但实际温度稳定，可能是传感器故障或接线松动；若实际温度确实波动，需检查加热与制冷的切换逻辑，是否存在调节过度的情况，可通过重新校 PID参数解决。循环系统异常的典型表现为流量不足或压力异常。对于密闭式循环系统，需检查膨胀罐压力，压力不足会导致系统压力波动，需补充氮气至规定值。

半导体Chiller设备的维护与故障排查需结合预防性保养与针对性解决，通过日常维护减少故障概率，通过定期维护延长部件使用周期，通过系统化故障排查快速恢复设备性能。这一体系能够确保设备长期处于稳定状态，为半导体制造工艺提供可靠的温度控制支持，间接保障产品质量的一致性。