在半导体行业的前沿阵地，半导体chiller直冷控温机组凭借其不俗的性能表现，以个性化的温度控制解决方案，为行业提供各种控温解决方案。

　　一、半导体chiller直冷控温机组控温范围

　　-150℃至15℃

　　二、半导体chiller直冷控温机组产品概述

　　半导体chiller直冷控温机组系列适用于真空涂覆冷阱、半导体芯片测试、热沉试验、低温液浴、气体捕集、药品冻干等多种应用场景。该设备内部不配备蒸发器，而是通过外部连接管路，将低温低压的液体制冷剂输送到客户的负载（即蒸发器）中。制冷剂在蒸发器内蒸发时吸收热量，迅速带走负载的热量，从而快速达到目标低温。直冷型制冷机采用制冷剂直接蒸发的相变制冷方式，相较于液冷的温差降温，其降温速度更快、能效更高。同时，由于设备无需循环系统，因此外形尺寸更为紧凑。

　　三、半导体chiller直冷控温机组控温对象

　　应⽤于分选机，提供低温环境进⾏三温测试

　　可与多个ESC卡盘、真空卡盘等组合实现宽温控制

　　四、半导体chiller直冷控温机组产品特点介绍

　　1、定制化服务

　　非标控制程序定制：可根据用户需求定制输出输入点、通讯方式、报警点、操作界面等非标控制程序。

　　2、实时监控与保护

　　运行状态实时显示：设备运行状态可实时显示，便于用户随时掌握设备情况。

　　故障信息自动诊断：具备故障信息自动诊断功能，可快速定位并解决问题。

　　多项报警保护功能：设有多项报警保护功能，确保设备安全稳定运行。

　　3、控制精度

　　动态控制系统，控制重复性高：采用动态控制系统，确保控制结果的重复性和稳定性。

　　自适应PID控制算法，适应不同环境和负载：具备自适应PID控制算法，可自动调整参数以适应不同环境和负载条件。

　　4、安全措施

　　设备配备完善的安全保护机制，确保在各种工况下都能安全稳定运行。

　　5、质量保证

关键部件选用品牌，发货前经过严格测试与检验，确保产品质量可靠。

半导体chiller直冷控温机组控温范围：-100℃~-15℃，控温精度±1℃，⽤于换热器换热⾯积⼩，但换热量⼤的场所，设备可⾃动回收导热介质。

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