冠亚研发的氟化液回收装置，采用一体式风冷设计，通过品牌压缩机、冷凝器、蒸发器等部件，与客户端氟化液循环系统进行换热，对氟化液进行冷凝后回收，可科学管控氟化液的使用。

一、核心选型要点

氟化液回收装置系列主流型号为 FHY-HS01，选型需结合工况需求确认核心参数：环境温度适配 15℃-35℃，环境湿度不大于 85%，设备供电为单相 220V/50HZ（可定制），额定功率 1.8kW，zui大运行电流 10A。回收能力方面，气态氟化液回收能力为 450ml/H (Max)，回收时间小于 2 小时，氟化液净损耗率小于 10%，蓄冷罐容积 5L/8L，可匹配不同回收量需求。

氟化液回收装置选型时需确认可回收氟化液类型，设备适配 3M-7100、3M-7200、长产 7100、长产 7200 等易挥发氟化液，需根据实际使用的氟化液型号确认适配性。同时，需关注设备的冷却方式为风冷，无需外接冷却水系统，适配无冷却水供应的工况；通信方式支持 RS232/RS485/USB，可根据现场自动化系统需求选择对应接口。

二、应用场景

氟化液回收装置主要应用于半导体行业，在半导体制程中，氟化液常用于芯片测试、热沉冷却等环节，设备可对使用后的气态氟化液进行冷凝回收，实现氟化液的循环利用，降低使用成本。同时，全密闭循环系统设计，可避免低温吸收空气中水份，保障氟化液的纯度，避免杂质对制程造成影响。

此外，氟化液回收装置也适用于需要使用易挥发氟化液的其他工业场景，如电子元器件测试、jing密设备冷却等，可对氟化液进行回收再利用，减少介质损耗。设备操作界面采用 7 英寸彩色触摸屏，可实时显示氟化液回收状态，帮助用户科学管控氟化液的使用，适配工业现场的连续运行需求。

氟化液回收装置

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