接触式芯片高低温设备的系统维护怎么做？

2025年8月29日新闻中心行业新闻接触式芯片高低温设备640

　　接触式芯片高低温设备是半导体芯片研发与测试中的核心设备之一，通过直接接触芯片实现宽范围温度调控，其稳定运行直接影响测试数据准确性与芯片测试效率。

　　一、接触式芯片高低温设备常见维护误区

　　接触式芯片高低温设备的维护误区，多源于对设备工作原理与部件特性的认知不足，主要集中在三个方面，其一，忽视接触测试头的清洁与校准，且清洁过程中使用粗糙工具擦拭，导致测试头表面划伤、平整度受损，增加接触热阻。其二，循环介质维护不当，存在介质混用、未定期更换或液位监测缺失等问题，加速循环系统部件磨损。其三，温控系统维护片面，导致小故障积累引发大问题，可能导致控温失控，加剧设备负载。

　　二、接触测试头的关键保养细节

　　1、清洁与表面保护

　　接触测试头是设备与芯片直接接触的部件，其表面状态直接影响热传导效率与使用寿命。清洁需遵循温和清洁、避免损伤原则。清洁后需检查测试头表面是否有划痕、变形，若发现微小划痕，及时用专用抛光剂进行轻微抛光维护，防止划痕扩大导致接触间隙变化；长期不使用时，需在测试头表面覆盖专用保护膜。

　　2、定期校准与接触压力检查

　　接触测试头的温度准确性与接触压力稳定性，需通过定期校准与检查维持。温度校准方面，建议定期使用标准温度源对测试头进行校准，将标准温度传感器紧贴测试头表面，通过设备控制系统进行参数补偿，确保温度精度；接触压力检查方面，通过设备自带的压力检测功能，测试测试头与模拟芯片之间的接触压力。

　　三、循环介质系统的保养要点

　　1、介质选择与定期更换

　　循环介质是设备温控系统的热量传递载体，其性质稳定与否直接影响循环系统部件使用周期。首先需规避介质混用误区，严格按照设备说明书要求选择适配的介质，防止介质发生化学反应导致性能变质；其次，需定期更换循环介质，更换前需排空原有介质，并用专用清洗剂冲洗循环管路，避免残留介质污染新介质；更换后需检查介质液位，确保液位处于设备规定的标准范围，防止循环泵因液位不足空转，导致泵体磨损。

　　2、循环管路与过滤器维护

　　循环管路堵塞与过滤器失效，是导致循环系统压力异常、换热效率下降的主要原因，需定期进行检查与清理。

　　四、温控系统核心部件的维护细节

　　1、传感器与密封圈检查

　　温控系统中的温度传感器、压力传感器及阀门密封圈，是易损且对设备性能影响较大的部件，需定期检查更换。

　　2、压缩机与散热系统保养

　　压缩机是温控系统的动力核心，散热系统则直接影响压缩机工作效率，二者保养需协同进行。压缩机维护方面，需定期检查压缩机的运行声音与表面温度，若运行时出现异常声响或表面温度过高，及时停机检查，排查是否因制冷剂泄漏、润滑不足导致故障，不可在异常状态下继续运行，防止压缩机烧毁；散热系统保养方面，需清理冷凝器表面的灰尘与杂物，确保散热通畅，避免因散热不佳导致压缩机过载运行。

接触式芯片高低温设备通过落实接触测试头的清洁校准、循环介质的科学管理、温控系统易损件的定期检查，可减少不必要的部件损坏，降低故障发生概率。