超精密空调在半导体制造中的关键作用:温控与洁净度保障
12在半导体制造中,超精密空调是用于保障整个生产环境(特别是洁净室)温湿度、洁净度等参数稳定的关键系统。它不仅是舒适性设备,更是直接影响芯片良率和性能的核心生产装备。 核心要求:为什么需要“超精密”? 半导体制造对生产环境的要求达到了近...
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在半导体制造中,超精密空调是用于保障整个生产环境(特别是洁净室)温湿度、洁净度等参数稳定的关键系统。它不仅是舒适性设备,更是直接影响芯片良率和性能的核心生产装备。 核心要求:为什么需要“超精密”? 半导体制造对生产环境的要求达到了近...
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