冠亚恒温CHILLER气体制冷系列：适用行业与典型场景

2026年4月8日 3

冠亚CHILLER气体制冷系列可提供稳定低温气体，为测试腔体、探针台、载冷台供给-65℃至-105℃的低温气流，模拟温度环境，验证芯片在高低温交替工况下的性能稳定性，同时适配光刻、刻蚀环节的工艺气体温控，保障制程温度一致性。

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