部分半导体芯片测试工位，会遇到 chiller 和 DI 去离子水回路对接的工况。如果没有做好隔离防护，一旦发生泄漏，普通循环介质、冷冻油会混入高纯度 DI 水，造成整个回路水质被污染；反过来 DI 水渗入 chiller 回路，会腐蚀内部部件、抬升系统露点。需要依靠物理隔离手段切断两侧介质互相窜入的通道。本文梳理接入 DI 回路对应的风险，以及全套隔离防护方案。

一、DI 回路对接风险对照表

风险类型	故障表现	产线带来的影响
介质互相窜入	换热器发生微漏，两侧介质互相渗透	DI 水质降级，或者 chiller 回路进水，露点抬升腐蚀部件
压力互相扰动	两侧回路压力差异大，故障之后压力倒灌	破坏原有系统循环工况，诱发设备报警停机
离子微粒析出	普通材质直接接触 DI 水，金属离子析出	DI 水电阻率下降，带来晶圆污染风险

二、全套隔离防护操作要点

采用独立间接板式换热器实现物理隔离

chiller 工艺回路和 DI 去离子水回路，禁止直接连通混合，需要使用板式换热器做完全物理隔离，只传递热量，介质互相完全独立，杜绝直接窜流通道。 换热器两侧材质全部选用适配 DI 水工况的 316L 不锈钢，密封件选用低析出氟橡胶，避免接触 DI 水之后离子析出。

两侧回路压力管控与泄压防护

分别核算 chiller 侧与 DI 水侧的设计工作压力，两个回路的工作压力不要差距过大。 两侧分别配置独立安全阀、泄压管路。如果其中一侧压力异常升高，安全阀可以独立泄压，避免高压把介质压入另外一侧回路。

泄漏监测报警配置

在板换中间检测腔配置泄漏检测传感单元。一旦板换板片出现破损，介质渗漏会进入中间腔体，设备立刻触发报警，同时输出信号给到产线自动化平台，及时暂停对应工位测试，防止污染扩大。 不可以只依靠人工巡检发现泄漏。

管路材质与配套过滤管控

DI 水侧全部管路、阀门、接头采用适配高纯水路的材质，杜绝普通碳钢、铜材质接触 DI 水，防止金属离子溶出。 DI 进水前端配置过滤单元，拦截固体微粒；chiller 侧保持原有多级过滤配置。两侧回路过滤器完全独立，不混用滤芯。

投运前的保压检漏验证

整套对接施工完成，分别对 DI 侧、chiller 侧做独立保压测试；同时做模拟泄漏报警测试，确认报警信号可以正常触发。 保压、报警功能全部验证合格，才允许正式投入芯片测试使用。

三、运维阶段注意事项

把板换泄漏检测信号纳入日常巡检项目；定期核对 DI 水电阻率，同时核对 chiller 回路介质含水率。 产线大修、板换拆装检修之后，需要重新完成保压与报警模拟测试。

总结

半导体 chiller 接入 DI 去离子水回路，核心是依靠间接板式换热器实现两套回路物理隔离，不能直接介质互通。配套独立泄压保护、中间腔泄漏监测报警、适配材质选型，投运前完成保压与报警模拟验证，规避介质互相窜入污染 DI 水或者损坏 chiller 系统的风险。

FAQ

Q：DI 水水质很好，可以取消板换，把 chiller 介质直接混入 DI 回路吗？

A：不可以，一旦 chiller 内部部件泄漏，冷冻油、导热介质会直接大面积污染 DI 供水回路。

Q：板换有中间泄漏报警，是不是就可以不用做定期保压？

A：报警属于故障之后的告警手段，保压检漏属于预防性维护，两者不能互相替代。

Q：两侧工作压力差距很大，会带来什么隐患？

A：板换一旦出现微小破损，高压一侧介质会快速大量窜入低压一侧，扩大污染损失。