部分存量半导体 chiller 原始管路缺少旁路稳压结构，当测试工位负载变化、支路开关切换，系统循环压力容易出现波动，影响芯片测试工艺稳定性。在原有系统改造增加旁路稳压回路，可以稳定循环管路压力，缓冲负载切换带来的压力冲击。改造属于管路系统改动，需要评估系统匹配性，遵守洁净车间施工规范。本文梳理改造实施要点。

一、旁路稳压回路改造评估与部件对照表

项目	选型与评估要点	改造作用
旁路阀选型	适配介质类型、温度区间、系统额定压力	调节旁路流量，维持主管压力稳定
管路规格匹配	旁路管径匹配主管路流量需求，减少局部阻力	避免旁路成为新的节流瓶颈
压力测点布置	测点位置避开弯头、泵出口涡流区	采集到稳定、真实的管路压力信号
安全防护配置	配套安全阀、排污排气接口	保障异常工况下系统安全
洁净适配性	配件材质不易析出微粒，方便清洁	适配洁净车间环境

二、改造分步实施要点

前期系统评估

改造前记录机组原有压力运行区间、大流量、介质参数，评估增加旁路之后，循环泵的工作工况变化。核查泵的扬程曲线，确认增加旁路不会造成泵长期偏离稳定工作区间。 评估原有管路应力状态，新增旁路管路做好应力补偿，避免新增管路引入额外应力集中点位。

部件选型与测点布置

旁路调节阀材质和循环介质兼容，耐受系统高低温工况。压力采集测点选在流动稳定的直管段，避开泵出口、弯头涡流位置，保证压力采集信号真实。 旁路管路合理选择管径，管径过小会带来较大局部阻力，稳压效果达不到预期；管径过大则会增加不必要的介质损耗。

管路施工与装配管控

洁净车间内施工，做好防尘防护，控制施工产生的颗粒物。管路焊接完成做清洁、吹扫，清除焊渣、金属碎屑。 新增管路装配完成，做保压检漏，确认所有接头无渗漏。管路保温复原，检查保温完整性。

调试与参数整定

改造完成之后，先做空载调试，设定稳压目标参数，整定旁路阀动作响应速度。 切换不同负载工况，验证压力波动幅度，微调阀门 PID 参数，避免阀门频繁来回动作。调试过程记录压力曲线，确认负载切换阶段压力稳定。

投产前核验

空载调试合格，再接入模拟负载进行长时间验证，确认稳压回路工作稳定，无异常振荡，之后接入芯片测试工位。改造相关图纸、参数记入设备改造台账。

总结

半导体 chiller 新增旁路稳压回路改造，先评估泵工况与管路应力，合理选型阀件与测点位置；洁净环境管控施工质量，完成保压吹扫，多工况整定阀门参数。改造完成做多工况验证，稳定系统循环压力，降低负载切换带来的压力扰动。

FAQ

Q：增加旁路稳压回路，会不会增加泵的能耗？

A：旁路会存在部分流量分流，需要前期评估泵工况，平衡稳压需求与能耗变化。

Q：旁路阀可以直接选用普通阀门吗？

A：需要选用可连续调节的阀件，普通开关阀无法实现持续稳压调节。

Q：改造之后，原有系统安全阀是否需要复核？

A：需要复核整套系统压力保护逻辑，确认安全防护依旧满足工况要求。