在半导体、新能源及工业制造领域，温度控制的准确性与可靠性直接影响工艺稳定性与产品性能。单通道直冷机作为实现准确控温的核心设备，其选型需综合考量技术参数、应用场景及系统兼容性。

　　一、核心技术参数解析

　　单通道直冷机的技术参数是选型的基础依据，需关注以下维度：

　　1、温度控制范围与精度

　　温度范围决定设备适用的工艺场景。控温范围为-40℃～-15℃，适用于中低温测试；控温范围为-150℃～-110℃超低温环境，满足半导体材料低温特性研究需求。控温精度方面，设备普遍采用电子膨胀阀与PID算法，控温精度高。

　　2、制冷能力与热响应特性

　　制冷能力以kW为单位，需匹配目标负载的热功耗。热响应速度方面，直冷机因采用制冷剂直接蒸发换热技术，换热效率较传统流体间接冷却高5倍以上，可实现高温快速降温至目标温度，满足工艺中急冷急热的需求。

　　3、系统兼容性参数

　　①制冷剂类型：常见类型包括R404A、R507C、LNEYA-150混合制冷剂等。中低温段多采用R404A，超低温段需使用混合制冷剂。

　　②接口规格：进出接口尺寸涵盖ZG1/2至DN50，需与客户设备管路匹配。

　　③电源配置：功率范围从3kW至16kW，需确认现场电源规格及断路器容量，避免过载风险。

　　二、关键组件与系统设计

　　直冷机的性能表现依赖于核心组件的选型与系统集成设计：

　　1、制冷压缩机

　　压缩机类型直接影响低温性能与能效。中低温机型多采用的压缩机，具备体积小、可靠性高的特点；超低温机型则采用多级复叠压缩机，通过单压缩机实现低温，减少系统复杂性。

　　2、换热与节流装置

　　①蒸发器：采用板式换热器或微通道换热器，其中板式换热器体积小、换热效率高，适用于空间受限场景；微通道换热器耐腐蚀，适合对介质要求高的环境。

　　②节流装置：电子膨胀阀通过实时调节制冷剂流量，提升控温响应速度，避免传统机械阀的滞后问题。

　　3、控制系统与安全保护

　　①控制器：标配PLC可编程控制器，操作界面为7英寸彩色触摸屏，实时显示温度曲线、压力数据，并支持EXCEL数据导出。

　　②安全保护：集成相序保护、高压压力开关、过载继电器等，确保设备在苛刻环境下的运行安全。

单通道直冷机的选型是技术参数、应用场景与系统集成的综合考量过程。通过明确工艺需求、解析设备核心指标、评估组件可靠性，可实现设备与应用的准确匹配，助力企业提升研发效率与制造精度，为装备的国产化替代提供技术支撑。

双通道系列 Dual Channel Chiller

双通道Chillers主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制，公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），显著提升系统的响应速度、控制精度和稳定性。

详细信息

单通道系列 Single Channel Chiller

FLTZ系列单通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度。

详细信息

三通道系列 Triple Channel Chiller

半导体温控装置Chiller主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，产品有流体氟化液控温（最低-100度)、气体冷热快速温变、快速温变卡盘、低温气体制冷机（-120度）、直冷型制冷机组（-150度）等。公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度。

详细信息

LQ系列气体冷却装置

适用范围 应⽤于将⽓体（⽆腐蚀）降温使⽤：如⼲燥压缩空⽓、氮⽓、氩⽓等常温⽓体通⼊到LQ系列设备内部，出来的⽓体即可达到⽬标低温温度，供给需求测试的元件或换热器中。 产品特点 Product Features 产品参数 Product Parameter 所有设备额定测试条件：⼲球温度：20℃；湿球温度：16℃。进⽔温度：20℃；出…

详细信息

AET系列气体快速温变测试机

适用范围 压缩空⽓进⼊⽓体快速温变测试机，内置有⼲燥器，预先把⽓体⼲燥到露点温度-70度以下，进⾏制冷加热控温输出稳定流量压⼒恒温的⽓体，对⽬标对象进⾏控温（如各类控温卡盘、腔体环境、热承板、料梭、腔体、电⼦元件等），可根据远程卡盘上的温度传感器进⾏⼯艺过程控温，⾃动调节输出⽓体的温度。 产品特点 Product Features …

详细信息

AES系列热流仪

适用范围 射流式⾼低温冲击测试机给芯⽚、模块、集成电路板、电⼦元器件等提供精确且快速的环境温度。是对产品电性能测试、失效分析、可靠性评估的仪器设备。 产品特点 Product Features 产品参数 Product Parameter 行业应用 APPLICATION 半导体封测工艺过程控温解决方案 半导体封测…

详细信息

Chiller换热型 系统无压缩机

适用范围 多通道独立控温，可以具备单独的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等，采用独立的两套系统，根据所需的温度范围选择采用蒸汽压缩制冷，或者采用ETCU无压缩机换热系统，系统可通用膨胀罐、冷凝器、冷却水系统等，可以有效减少设备尺寸，减少操作步骤。 产品特点 Product Features 产品参数 Product…

详细信息

Dryer气体干燥器

适用范围 应⽤于传感器、半导体制造、薄膜和包装材料执照、粉状物料运输、喷涂系统、⻝品⾏业、制药⾏业等需要实现-80℃低露点⼲燥和清洁的分布式⽓源。 产品特点 Product Features 产品参数 Product Parameter 行业应用 APPLICATION 消费类电子解决方案 冠亚恒温可以为消费类电子行…

详细信息

AI系列循环风系统

适用范围 运⽤于半导体设备⾼低温测试。电⼦设备⾼温低温恒温测试冷热源；独⽴的制冷循环⻛机组；可连续⻓时间⼯作，⾃动除霜，除霜过程不影响库温； 模块化设计，备⽤机替换容易（只要⼀台备⽤机组即可）；解决频繁开关⻔，蒸发系统结霜问题；蒸发系统除霜过程不影响。构筑⼀套⾼低温恒温室变的简单（根据提供的图纸，像搭积⽊⼀般拼接好箱体，连接好电和⽔，设…

详细信息

面板系列Panel Chiller

面板系列Chiller应⽤于刻蚀、蒸镀、镀膜⼯艺等，支持⼤流量⾼负载，确保极端⼯况下持续稳定运⾏；支持冷却⽔动态调节系统，可根据环境温度与设备热负荷，实时调节⽔温。

详细信息