FLTZH 高温系列制冷循环器：高温工艺的稳定温控方案

2026年4月1日行业新闻 FLTZH 高温系列制冷循环器380

在需要持续带走高温热量的工业制程中，温度的稳定控制直接影响工艺连续性与产品品质。FLTZH 高温系列制冷循环器，以宽温域覆盖、高精度控制与可靠的工况适配性，为薄膜沉积、半导体高温测试等场景提供温控支持。

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一、核心性能与技术特性

1. 宽温域与高精度温控

冠亚恒温研发的FLTZH 系列的介质温度范围覆盖 50℃~220℃，可适配 CVD、PECVD、MOCVD 等典型高温工艺的热量管控需求。依托智能算法实现动态温度快速响应，介质出口温控精度可达 ±0.1℃，部分型号支持 ±0.01℃可选精度，即便在负载波动的工况下，也能保持良好的温度跟随性，避免温度偏差对工艺造成影响。

2. 灵活的控制模式与通讯适配

我司该系列采用 PLC 控制系统，支持两种温控模式：本体出液口温控控制模式，可直接管控循环介质出口温度；CHUCK 本体温度控制模式，通过通信实现对被控对象的直接温控。同时，产品支持自定义目标温控点与出液口温度的温差，可根据工艺逻辑灵活调整。通讯层面，兼容 MODBUS RTU 协议、RS 485 接口与以太网接口，可接入工厂自动化系统，实现远程监控、数据采集与联动控制。

3. 高节能与低损耗设计

为适配长期连续运行的需求，FLTZH 高温系列制冷循环器系列采用变频自适应调节与软启动技术，可根据负载变化自动调整运行功率，降低不必要的能耗。针对高温工况下的介质损耗问题，产品采用特殊的密封和循环设计，有效减少氟化液的挥发损耗，延长介质使用寿命。内部管道经酸洗钝化处理，洁净度高，不含杂质离子，从源头避免对工艺制程产生污染。

4. 全场景安全防护

安全运行是高温工况的核心要求。FLTZH 高温系列制冷循环器系列配备多重安全保护机制：包括相序断相保护、电流监控、漏水报警、加热系统三重保护等，同时具备进出液口压力监控与断流保护功能。密闭循环系统设计，使设备在高温运行时不会产生油雾，低温时不会吸收空气中水分，避免环境因素干扰工艺，保障设备 24 小时稳定运行。

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二、型号适配与应用场景

基础款型中，我司生产的FLTZH-5W 与 FLTZH-10W 是核心选择：

FLTZH-5W：加热功率 5.5kW，流量 8LPM/4bar，接口尺寸 Rc1/2，适配小负荷高温工艺场景；
FLTZH-10W：加热功率 10kW，流量 8LPM/4bar，接口尺寸 Rc3/4，可满足中大型负荷的热量带走需求。双通道系列则进一步拓展了应用边界，支持双路独立温控，可同时管控两个工艺区域，流量与接口规格可根据现场管路需求灵活选择，适配多工艺并行的生产场景。

在实际应用中，FLTZH 系列可稳定服务于薄膜沉积工艺，通过温控保障薄膜厚度均匀性；在半导体高温测试中，宽温域覆盖与高精度控制可满足不同测试阶段的温度需求，为测试数据的可靠性提供支撑。