超纯水介质温控：CHILLER 制冷循环器原理介绍

2026年5月11日行业新闻半导体chiller60

超纯水温控系列 CHILLER 制冷循环器以超纯水为介质，通过制冷循环与介质循环两大系统的协同运作，实现对目标设备的jing准控温，以下详细介绍其运行原理。

超纯水介质温控：CHILLER 制冷循环器原理介绍 - 半导体chiller（images 1）

设备的核心原理基于蒸汽压缩制冷循环与介质间接换热技术。制冷循环系统由压缩机、冷凝器、节流部件、蒸发器四大关键部件组成，介质循环系统由循环泵、管路、换热器、过滤器等部件组成，两大系统通过蒸发器实现热量交换。

制冷循环过程：压缩机将气态制冷剂压缩为高温高压状态，输送至冷凝器，通过风冷或水冷方式将制冷剂中的热量散发至外界，使制冷剂冷凝为液态；液态制冷剂经节流部件降压降温，转变为低温低压的液态介质，进入蒸发器内部流道；在蒸发器中，低温制冷剂与介质循环系统的超纯水进行换热，吸收超纯水的热量，使制冷剂蒸发为气态，再回到压缩机，完成完整的制冷循环。

介质循环过程分为冲洗型与循环型两种模式。冲洗型模式中，超纯水经前置过滤装置去除杂质后，由循环泵输送至蒸发器，与低温制冷剂完成换热，温度降低至目标值，再输送至目标制程设备，换热后的超纯水直接排出设备，完成单次换热流程；循环型模式中，超纯水经蒸发器换热降温后，输送至目标设备，换热后的介质回流至设备内部，再次经过过滤器、循环泵，重新进入蒸发器完成换热，形成闭环循环，减少介质损耗。