1-loop/2-loop 独立通道：超纯水温控系列多通道说明

2026年5月11日行业新闻半导体chiller80

超纯水温控系列 CHILLER 制冷循环器支持 1-loop 单通道与 2-loop 双通道独立通道设计，两种通道配置可满足不同制程的温控需求，以下详细说明其结构特点与适配场景。

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1-loop 单通道设计为单路介质循环，仅包含一路独立通道，可同时提供冲洗型或循环型运行模式，适配单工位制程场景。设备采用单路制冷循环与介质循环系统，为单台制程设备提供稳定的超纯水冷却介质，控温精度 ±0.1℃，可定制 ±0.01℃高精度配置。单通道设备结构简洁，占地面积小，安装便捷，适配实验室或小型制程场景，设备型号如 FLTZ-U-003W，冷却能力 9.4kW@20℃，加热能力 10kW，可满足单工位制程的冷热负荷需求。

2-loop 双通道独立通道设计为两路独立介质循环，包含 CH1 与 CH2 两个独立通道，两路通道的制冷循环、介质循环与控制逻辑相互独立，互不干扰，可同时为两台制程设备提供独立控温，适配双工位或不同制程设备的温控需求。双通道设备的每一路通道均可独立设定温度、流量参数，可分别采用冲洗型或循环型运行模式，实现一机多用，提升设备利用率。设备型号如 FLTZ-U-D001W、FLTZ-U-D002W、FLTZ-U-D003W，每路通道的冷却能力、加热能力可根据需求配置，适配不同冷热负荷的制程设备。