高低温接触式测试仪设备的参数对比说明
KSDR 系列两款huan 保机型 KSDR-705-B、KSDR-710 均采用 R744 二氧化碳冷媒,温控、速率指标统一,核心差异为载台尺寸、冷热输出功率、单次测试负载。本文完整对比两款机型各项核心参数与适用产线场景。

一、确认控温对象
| 控温对象 | 适配机型 |
| 研发少量芯片、小型元器件 | KSDR-705-B |
| 整片晶圆、多片同步批量测试 | KSDR-710 |
| 绿色实验室小型冲击实验 | KSDR-705-B |
| 出口半导体量产车间 | KSDR-710 |
二、确认应用工艺流程
KSDR-705-B 适配研发、小批量样品短周期冲击、循环测试;KSDR-710 面向量产产线,支持大尺寸晶圆与多元器件同步验证,长时间连续批量运行。两款设备huan 保冷媒回路结构一致,运维操作流程统一,仅冷热功率与载台规格区分。
三、核对核心技术参数
- 共同参数:-75℃~+200℃,±0.2℃,高 75℃/min,R744 冷媒;
- KSDR-705-B:75*75mm 载台,中小制冷加热功率;
- KSDR-710:120*120mm 载台,大功率冷热输出;
- 通讯、气动、吹扫配置完全通用。
四、匹配对应机型
| 机型 | 载台规格 | 核心参数差异 |
| KSDR-705-B | 75*75mm | 小型研发工位,小负载 |
| KSDR-710 | 120*120mm | 整片晶圆、大批量量产产线 |
五、参数选型注意事项
- 单次需要同时放置多片晶圆,直接选用 KSDR-710;
- 实验室少量样品研发选用 705-B 可降低设备占地;
- 两款冷媒充注、巡检流程完全一致;
- 710 满载工况下能耗高于 705-B,按需选型。

六、常见问题 FAQ
- 两款huan 保机型除尺寸外温控性能一样吗? 升降温、控温精度指标完全相同。
- KSDR-705-B 可以后期更换大载台吗? 内部换热结构固定,无法改装 120mm 载台。
- 两款设备工艺程序可以互相导入吗? 操作系统通用,测试配方可直接使用。
- 出口产线两款机型都满足huan 保认证吗? 全部采用低 GWP R744 冷媒,均符合海外管控标准。
冠亚恒温




