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高低温接触式测试仪设备的参数对比说明

行业新闻 ksd设备200

KSDR 系列两款huan 保机型 KSDR-705-B、KSDR-710 均采用 R744 二氧化碳冷媒,温控、速率指标统一,核心差异为载台尺寸、冷热输出功率、单次测试负载。本文完整对比两款机型各项核心参数与适用产线场景。

高低温接触式测试仪设备的参数对比说明 - ksd设备(images 1)

一、确认控温对象

控温对象适配机型
研发少量芯片、小型元器件KSDR-705-B
整片晶圆、多片同步批量测试KSDR-710
绿色实验室小型冲击实验KSDR-705-B
出口半导体量产车间KSDR-710

二、确认应用工艺流程

KSDR-705-B 适配研发、小批量样品短周期冲击、循环测试;KSDR-710 面向量产产线,支持大尺寸晶圆与多元器件同步验证,长时间连续批量运行。两款设备huan 保冷媒回路结构一致,运维操作流程统一,仅冷热功率与载台规格区分。

三、核对核心技术参数

  1. 共同参数:-75℃~+200℃,±0.2℃,高 75℃/min,R744 冷媒;
  2. KSDR-705-B:75*75mm 载台,中小制冷加热功率;
  3. KSDR-710:120*120mm 载台,大功率冷热输出;
  4. 通讯、气动、吹扫配置完全通用。

四、匹配对应机型

机型载台规格核心参数差异
KSDR-705-B75*75mm小型研发工位,小负载
KSDR-710120*120mm整片晶圆、大批量量产产线

五、参数选型注意事项

  1. 单次需要同时放置多片晶圆,直接选用 KSDR-710;
  2. 实验室少量样品研发选用 705-B 可降低设备占地;
  3. 两款冷媒充注、巡检流程完全一致;
  4. 710 满载工况下能耗高于 705-B,按需选型。
高低温接触式测试仪设备的参数对比说明 - ksd设备(images 2)

六、常见问题 FAQ

  1. 两款huan 保机型除尺寸外温控性能一样吗? 升降温、控温精度指标完全相同。
  2. KSDR-705-B 可以后期更换大载台吗? 内部换热结构固定,无法改装 120mm 载台。
  3. 两款设备工艺程序可以互相导入吗? 操作系统通用,测试配方可直接使用。
  4. 出口产线两款机型都满足huan 保认证吗? 全部采用低 GWP R744 冷媒,均符合海外管控标准。

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