冠亚小编详解：无压缩机换热型系列的控温原理

2026年4月22日行业新闻无压缩机换热型系列490

冠亚恒温小编为大家详解冠亚恒温研发的无压缩机换热型系列，该系列是冠亚专为jing密制造场景设计的温控设备，主要应用于光刻机、薄膜沉积设备、离子注入机等领域的加热冷却环节，核心特点是采用无压缩机结构，通过换热器实现工质与载冷介质的换热，以下为大家详细解析其控温原理。

冠亚小编详解：无压缩机换热型系列的控温原理 - 无压缩机换热型系列（images 1）

控温原理上，冠亚研发的无压缩机换热型系列采用无压缩机结构，加热冷却设计，结构相对简单，无需复杂的制冷压缩系统，仅通过换热器即可实现工质与载冷介质的热量交换，进而实现连续升降温。该系列设备的温度范围为5℃~90℃，可快速实现加热与冷却的切换，满足jing密制造场景的动态温控需求。控温系统采用PID无模型自建树算法或PLC控制，可实现温度波动≤±0.05℃，适配jing密制造场景对温控jing度的要求。

具体换热流程中，载冷介质在循环泵的驱动下，进入换热器内部，与厂务水进行热量交换：当需要降温时，厂务水带走载冷介质的热量，使载冷介质温度降低；当需要升温时，厂务水向载冷介质传递热量，使载冷介质温度升高。换热后的载冷介质回到设备，再次通过循环泵输送至目标工艺设备，与工艺设备进行换热，吸收或释放工艺设备的热量，之后再回到设备，完成整个循环过程。

冠亚小编详解：无压缩机换热型系列的控温原理 - 无压缩机换热型系列（images 2）

设备的冷却水与载冷介质采用独立循环设计，互不干扰，可根据工艺需求灵活调节冷却水的温度与流量，进而jing准控制载冷介质的温度，实现动态控温。控制模式上，设备支持循环液出口温度控制与工件负载温度控制（选配），可根据工艺需求选择合适的控制模式，实现对目标设备的jing准温度控制。其中，工艺工程温度控制可结合自创无模型自建树算法和串级算法，jing准控制工件目标温度，减少温度偏差对工艺的影响。

设备配置方面，冠亚无压缩机换热型系列的冷却能力覆盖5kW~300kW，加热功率（选配）覆盖1kW~60kW，可根据不同工艺的冷热负荷需求选择适配型号。设备的载冷剂额定流量、冷却水额定流量随型号调整，适配不同工艺的流量需求。操作面板采用彩色触摸屏，可直观显示设定温度和测量温度，同时支持温度曲线记录，数据导出采用Excel格式，便于工艺追溯。安全防护方面，具备循环泵过载保护、介质出口高压保护、过欠压、电流监控、低液位保护、热保护装置等多种安全保护功能，保障设备运行安全。