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工业冷水机组chiller在半导体领域的具体应用

2025年2月13日 113

工业冷水机组chiller在半导体制造中其应用贯穿晶圆制造、封装测试等全流程。以下从核心工艺环节、设备配套及技术三个维度展开说明： 一、核心工艺环节应用 1.光刻机热管理-应用场景：光刻机曝光过程中，激光器产生瞬时高热，采用工业冷水机组chil...

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