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晶圆卡盘测试设备的技术原理是什么

2025年8月22日 133

在半导体制造与检测环节，晶圆卡盘测试设备承担着晶圆温度环境控制与性能检测的双重职能，其核心技术水平直接决定晶圆检测数据的可靠性与准确性。其中，高精度温控技术作为设备运行的关键支撑，通过对晶圆载台温度的准确调控，减少温度波动对晶圆电学性能、物理特性...

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