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半导体 Chiller 设备的动态控温方案及其技术架构、原理与应用场景

2025年7月31日 80

在半导体制造与测试过程中，温度控制的精度与稳定性直接影响芯片的性能与可靠性。半导体Chiller设备作为核心温控装置之一，其技术方案对半导体工艺的良率提升具有重要意义。其中，多通道设计与动态控温方案的结合，为复杂工况下的准确温控提供了解决路径，成为满足多...

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