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半导体工艺温控装置技术解析：制冷转换机制与多场景结构设计

2025年7月25日 131

在半导体制造领域，温度控制是保障工艺稳定性和产品良率的关键环节之一。半导体Chiller设备作为温控的装置，通过系统化的转换与传递机制，实现从超低温到高温的连续调控，为光刻、刻蚀、薄膜沉积等关键制程提供稳定的温度环境

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