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面向光刻工艺的光刻直冷机控温原理与技术适配性介绍

2025年7月10日 11

半导体光刻技术是芯片制造的核心环节，其通过将电路图案投射到硅片上实现微纳结构加工，这一过程对温度变化的要求较高，微小的温度波动都可能导致图案失真，影响产品质量。光刻直冷机通过准确的热管理机制，直接影响光刻精度、设备使用周期与产品良率，其原理层面的...

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