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  • 单通道系列 Single Channel Chiller

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    FLTZ系列单通道Chillers主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制,公司在系统中应用多种算法(PID、前馈PID、无模型自建树算法),实现系统快速响应、较高的控制精度。

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  • 三通道系列 Triple Channel Chiller

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    半导体温控装置Chiller主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制,产品有流体氟化液控温(最低-100度)、气体冷热快速温变、快速温变卡盘、低温气体制冷机(-120度)、直冷型制冷机组(-150度)等。公司在系统中应用多种算法(PID、前馈PID、无模型自建树...

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  • LTZ变频带加热系列

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    LTZ变频带加热系列变频压缩机组通过内置变频装置随时根据⽤⼾冷热负荷需求改变直流压缩机的运⾏转速,从⽽避免压缩机与电加热满负荷对抗,保持机组稳定的⼯作状态,达到节能效果。

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  • Chiller换热型 系统无压缩机

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    适用范围 多通道独立控温,可以具备单独的温度范围、冷却加热能力、导热介质流量等,采用独立的两套系统,根据所需的温度范围选择采用蒸汽压缩制冷,或者采用ETCU无压缩机换热系统,系统可通用膨胀罐、冷凝器、冷却水系统等,可以有效减少设备尺寸,减少...

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