半导体设备冷却中的温度管理——FLTZ高精度冷热机组应用说明

2026年5月18日 5

FLTZ高精度冷热机组可用于半导体设备冷却、真空腔体冷却、热沉板控温和温度循环测试，支持-90℃~100℃温度范围，可根据设备工况进行配置。

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