冠亚恒温小编为大家介绍 FLTZ -100~+90℃系列设备在半导体ji端温变工艺中的配套应用。部分半导体工艺与测试环节需要模拟ji端温度环境，实现超低温与高温之间的温变过程，验证器件的温度耐受能力，FLTZ -100~+90℃系列设备可实现 – 100℃至 + 90℃的ji端温域控温，适配ji端温变工艺的温控需求。

FLTZ -100~+90℃系列设备的温度范围为 – 100℃~+90℃（可扩展到 100℃），控制模式支持循环液出口温度控制与工件负载温度控制（选配），出口控温精度稳定在 ±0.1℃，可定制 ±0.01℃控温精度，能够将ji端温变过程中的温度波动控制在合理范围，保障工艺或测试的稳定性。制冷量 @-90℃覆盖 1.5kW 至 6kW，加热能力从 3.5kW 至 15kW，可根据不同ji端温变工艺的冷热负荷需求选择适配型号。

介质适配方面，设备支持氟化液介质，制冷剂采用混合冷媒，适配 – 100℃~+90℃的ji端温度区间需求。介质流量压力为 30LPM@6bar，介质接口为 Rc3/4，冷却水接口包括 Rc1/1、Rc2 等，冷却水流量从 6.6m³/h 到 18m³/h 不等，膨胀罐容积为 30L 至 40L，可匹配ji端温变工艺设备的管路与流量需求。

在ji端温变工艺应用中，该系列设备可为工艺或测试腔体提供 – 100℃至 + 90℃的循环介质，模拟器件在ji端低温与高温之间的温变过程，验证器件的结构稳定性与电性能可靠性。设备支持多段程序控温，可自定义温变程序，设置循环次数、温变区间、保温时长，适配批量测试的自动化需求。

设备的操作面板采用 10 寸彩色触摸屏，可直观设置温变参数、查看运行曲线、记录数据，便于工艺追溯。安全防护方面，具备多种保护功能，可实时监测设备运行状态，异常时自动报jing并停机，保障测试样品与设备安全。FLTZ -100~+90℃系列设备以ji端温域控温能力，为半导体ji端温变工艺提供了可靠的温控支持。