内外循环独立调控：冷热测试chiller双泵系统助力高精度半导体温控

2026年5月9日行业新闻冷热测试chiller160

无锡冠亚FLTZ系列冷热测试chiller采用双循环架构设计，设有独立的内循环泵与外部循环泵。内循环主要负责设备内部的温控介质循环与换热，外循环则对接外部测试或工艺负载。这样的结构有助于让设备内部的温控调节与外部负载的变化相对独立，从而在外部需求波动时，仍保持较为稳定的输出能力。对于半导体测试过程而言，这种稳定性有利于减少温度波动对测试数据的影响，也为连续运行提供了更为安定的条件。

内外循环独立调控：冷热测试chiller双泵系统助力高精度半导体温控 - 冷热测试chiller（images 1）

在温控设备与测试台或工艺设备联合使用的场景中，外部负载往往会随测试程序、工艺节拍或被测器件状态发生变化。例如，某些测试机会在不同阶段对被测件施加不同功率，导致从被测件回流的介质温度出现波动；或者工艺腔体在不同步骤中通入不同气体、改变压力条件，从而引起换热条件变化。如果温控设备只有单一循环回路，那么外部负载的波动更容易直接传递到内部温控回路中，引起出口温度短时偏移，需要控制系统不断修正。

双循环架构通过将“内部温控回路”与“外部负载回路”分开，使得内循环可以更专注于维持设定温度点与介质状态，而外循环则承担将冷量或热量输送到负载，并把回水送回换热器的任务。两个循环之间通过换热器进行热量传递，而不是直接连通同一股流体全程混用。这样，当外循环因负载变化而出现流量、温度或压力波动时，内循环的温度场与介质状态不一定会受到同等程度的扰动，从而有利于出口温度的平稳维持。

对于半导体测试来说，部分测试项目对温度稳定性较为敏感。比如在某些电参数测试中，温度漂移可能会叠加在测量结果上，使得同一批器件在同一设定温度点下表现出一定分散性。虽然测试系统通常会进行校正，但若温控设备本身能提供更平稳的温度输出，则可为测试数据的一致性创造更好条件。FLTZ系列冷热测试chiller的双循环结构正是从系统分隔的角度，帮助实现这一目标的一种工程方式。

此外，双循环设计也为设备运行安全与管路安排提供了一定便利。内循环的运行参数可根据设备自身的控温策略进行设定，而外循环则可根据外部负载的距离、高度差、接口口径等现场条件进行相应配置。两个循环泵独立工作，也意味着在维护或排查时，可以有针对性地对某一侧进行检查，而不一定要停掉整个系统。

当然，双循环架构并不是温控设备唯一可行的结构形式，但是在涉及较高控温要求、较长运行时间以及外部负载可能存在波动的半导体测试场合，这种架构常被采用，以便兼顾控温质量与系统适应性。FLTZ系列冷热测试chiller在此方向上的设计，使其可较好地融入测试平台或工艺冷却线路中，作为较为稳定的冷热源装置使用。