内外循环独立调控：冷热测试chiller双泵系统助力高精度半导体温控

2026年5月9日 16

无锡冠亚FLTZ系列冷热测试chiller采用双循环架构设计，设有独立的内循环泵与外部循环泵。内循环主要负责设备内部的温控介质循环与换热，外循环则对接外部测试或工艺负载。这样的结构有助于让设备内部的温控调节与外部负载的变化相对独立，从而在外部需求波动时，仍保...

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